Halbleiterfertigung
Kernmarkt für die Einzelwaferbearbeitung, die Unterstützung lithografischer Prozesse sowie Beschichtungs-, Reinigungs-, HMDS-, Heizplatten- und Nassprozessmodule.
Single Wafer Processing
Prozessanlagen für dieHalbleiterfertigung
Hochpräzise Systeme für Coating, Cleaning, Hotplate, HMDS, Nassätzen und vollautomatisierte Einzelwaferprozesse.
Produktfamilien
Single Wafer Processing
Prozesslösungen von Reinigung, Coating und HMDS-Systemen bis zu OPTIwet-Nass- und Ätzprozessen sowie vollautomatischen Cluster-Plattformen.
Spray Coating
Spray-Coating-Systeme für kontrollierte Beschichtungsprozesse auf Wafern und Substraten.
Automated Cluster Processes
Automatisierte Cluster-Systeme, die mehrere Prozessmodule in einer Plattform verbinden.
Spin Coating
Präzise Spin-Coating-Systeme für gleichmäßige und reproduzierbare Beschichtungsergebnisse.
Heating & HMDS
Hotplates und HMDS-Systeme für kontrollierte thermische Waferprozesse.
Spin Processing
Flexible Spin-Coating- und Reinigungssysteme für die Einzelwaferbearbeitung.
Wet Processing & Etching
Spin-Wet-Prozesssysteme für Reinigung, Entwicklung, Ätzen und Nassprozesse.
Erfahrung
Zuverlässige Systeme für präzise Prozesse
Unsere Anlagen sind auf reproduzierbare Ergebnisse, robuste Automatisierung und Service ausgelegt, der die Anlagenverfügbarkeit im Fokus behält.
200+
Installationen weltweit
7
Märkte
10+
Jahre Erfahrung
24/7
Service & Support
Märkte und Anwendungen
MEMS & Sensoren
Prozessplattformen für Kleinserien und die Fertigung mit hohen Anforderungen an das Substrathandling.
Mikroelektronik & Leistungselektronik
Nassprozess-, Beschichtungs- und thermische Prozesslösungen für Si, SiC, GaN, GaAs und verwandte Substrate.
Advanced Packaging & Displays
Cluster- und Einzelanlagen für größere Substrate, EWLB, panelbezogene Prozesse und präzise Beschichtungsaufgaben.
Optik, Photonik & Advanced Materials
Flexible Prozessanlagen für Spezialsubstrate, Forschung & Entwicklung sowie Technologieentwicklung.
Pharma & Life-Science Prozessentwicklung
Ausgewählte Anwendungen für Beschichtung, Reinigung und Oberflächenbehandlung, bei denen kontrollierte Substratprozesse erforderlich sind.
Offizieller Service für führende Marken
Interesse an unseren Lösungen?
Sprechen wir über Ihre Prozessanforderungen
Kontaktieren Sie unser Vertriebsteam für eine individuelle Beratung zu Anlagen, Prozessmodulen, Upgrades und Service.
200+
Installationen
7
Märkte
24/7
Service
DE
Singen