Halbleiterfertigung
Primary market for single wafer processing, lithography support, coating, cleaning, HMDS, hotplate and wet process modules.
Single Wafer Processing
Prozessanlagen für dieHalbleiterfertigung
Hochpräzise Systeme für Coating, Cleaning, Hotplate, HMDS, Nassätzen und vollautomatisierte Einzelwaferprozesse.
Produktfamilien
Single Wafer Processing
Prozesslösungen von Reinigung, Coating und HMDS-Systemen bis zu OPTIwet-Nass- und Ätzprozessen sowie vollautomatischen Cluster-Plattformen.
Spray Coating
Spray-Coating-Systeme für kontrollierte Beschichtungsprozesse auf Wafern und Substraten.
Automated Cluster Processes
Automatisierte Cluster-Systeme, die mehrere Prozessmodule in einer Plattform verbinden.
Spin Coating
Präzise Spin-Coating-Systeme für gleichmäßige und reproduzierbare Beschichtungsergebnisse.
Heating & HMDS
Hotplates und HMDS-Systeme für kontrollierte thermische Waferprozesse.
Spin Processing
Flexible Spin-Coating- und Reinigungssysteme für die Einzelwaferbearbeitung.
Wet Processing & Etching
Spin-Wet-Prozesssysteme für Reinigung, Entwicklung, Ätzen und Nassprozesse.
Erfahrung
Zuverlässige Systeme für präzise Prozesse
Unsere Anlagen sind auf reproduzierbare Ergebnisse, robuste Automatisierung und Service ausgelegt, der die Anlagenverfügbarkeit im Fokus behält.
200+
Installationen weltweit
7
Märkte
10+
Jahre Erfahrung
24/7
Service & Support
Märkte und Anwendungen
MEMS & Sensoren
Process platforms for small-batch and production environments with demanding substrate handling requirements.
Mikroelektronik & Leistungselektronik
Wet processing, coating and thermal process solutions for Si, SiC, GaN, GaAs and related substrates.
Advanced Packaging & Displays
Cluster and standalone systems for larger substrates, EWLB, panel-related processes and precision coating tasks.
Optik, Photonik & Advanced Materials
Flexible process equipment for specialty substrates, R&D and technology development.
Pharma & Life-Science Prozessentwicklung
Selected coating, cleaning and surface treatment applications where controlled substrate processes are required.
Offizieller Service für führende Marken
Interesse an unseren Lösungen?
Sprechen wir über Ihre Prozessanforderungen
Kontaktieren Sie unser Vertriebsteam für eine individuelle Beratung zu Anlagen, Prozessmodulen, Upgrades und Service.
200+
Installationen
7
Märkte
24/7
Service
DE
Singen