Single Wafer Processing
Innovative Prozess- &
Inspektionsanlagen
Für Halbleiter und Solarindustrie. Hohe Präzision, maximale Zuverlässigkeit – von erfahrenen Ingenieuren entwickelt.
200+
Installationen weltweit
7
Märkte
10+
Jahre Erfahrung
24/7
Service & Support
Über Robotechnik
Seit 2013 entwickeln und fertigen wir Inspektionsautomaten und Prozessanlagen für die Halbleiter- und Solarindustrie.
Visuelle Inspektion
Präzise Inspektionsautomaten für Wafer-Qualitätskontrolle in der Solar- und Halbleiterfertigung.
Prozessanlagen
Spin Coater, Developer und Etcher – Single Wafer Processing auf höchstem Niveau.
Global
Kunden weltweit, starkes Partnernetzwerk, Service und Support vor Ort.
Unsere Produkte
Von der Inspektion über das Coaten bis zum Ätzen – komplette Wafer-Verarbeitungslösungen.
Inspektionsautomaten
Hochauflösende visuelle Inspektion von Solar- und Halbleiter-Wafern. Defekterkennung in Echtzeit.
Mehr erfahren →Spin Coater
Gleichmäßige Beschichtung von Einzel-Wafern. Präzise Dickenkontrolle und reproduzierbare Ergebnisse.
Mehr erfahren →Service
Offizieller Service für führende Marken
Wir bieten den offiziellen Service für alle Maschinen und Anlagen folgender Firmen:
- Degotec GmbH
- ATMgroup GmbH
- ATMvision AG
- ATMsse GmbH
- Sister Semiconductor (SSE)
- QSSE
Service & Wartung
Wartung, Reparatur, Umbauten und Upgrades für Ihre Anlage.
service@robo-technik.euInteresse an unseren Lösungen?
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