Unsere Produkte
Komplette Single Wafer Processing-Lösungen – von der Inspektion über das Coaten bis zum Ätzen.
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Inspektionsautomaten
Hochauflösende visuelle Inspektionssysteme für die Qualitätskontrolle in der Solar- und Halbleiterfertigung. Defekterkennung in Echtzeit mit automatischer Klassifizierung.
- ✓ Echtzeit-Inspektion
- ✓ Automatische Defektklassifizierung
- ✓ Universelle Maschinenplattform
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Spin Coater
Präzise Beschichtung von Einzel-Wafern durch Spin-Coating-Verfahren. Gleichmäßige Schichtdicken und reproduzierbare Ergebnisse für höchste Qualitätsstandards.
- ✓ Präzise Dickenkontrolle
- ✓ Reproduzierbare Ergebnisse
- ✓ Flexible Prozessparameter
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Developer
Entwicklung von beschichteten Wafern mit höchster Prozessstabilität. Kontrollierte Entwicklungsprozesse für konsistente Ergebnisse.
- ✓ Kontrollierte Entwicklung
- ✓ Hohe Prozessstabilität
- ✓ Einfache Bedienung
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Etcher
Präzises Ätzen von Wafern mit kontrollierten Ätzprozessen. Maximale Prozesssicherheit und reproduzierbare Ergebnisse für anspruchsvolle Anwendungen.
- ✓ Präzise Ätzprozesse
- ✓ Maximale Sicherheit
- ✓ Reproduzierbar